- chemische Dampfabscheidung
- Dampfabscheidung f: chemische Dampfabscheidung f s. → chemisches Aufdampfen
Deutsch-Englisch Wörterbuch der Elektrotechnik und Elektronik. 2013.
chemische Dampfabscheidung
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CVD — [Abk. für engl. chemical vapor deposition = chemische Dampfabscheidung]; Syn.: Gasphasenabscheidung: das; : Verfahren zur Erzeugung sehr dünner Oberflächenschichten aus Metallen, Leg. oder Verb., die sich aus gasförmig bei hohen Temp. zugeführten … Universal-Lexikon
